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机译:高真空下多晶硅微器件的侧壁粘附和滑动接触行为
Daan Hein Alsem; Hua Xiang; Robert O. Ritchie; Kyriakos Komvopoulos;
机译:高真空下操作的多晶硅微器件的侧壁粘合和滑动接触行为
机译:高真空操作的多晶硅微生物的侧壁粘附和滑动接触行为
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